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Espectrometría de Masas de Iones Secundarios (SIMS)

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Espectrometría de Masas de Iones Secundarios (SIMS)
Análisis de composición y homogeneidad en profundidad en capas finas.
Análisis de composición en superficies.
Análisis de trazas y dopantes en semiconductores en función de la profundidad.
Detección de impurezas en capas finas o en volumen.
Trazado del perfil de composición de una implantación de B en c-Si.
Comprobación de la homogeneidad de elementos en capas finas de C micro cristalino.
Estudio de la difusión en la interfaz de capas finas de Si amorfo.
Análisis de la periodicidad en multi-capas metálicas Cr/CrC.
Determinación de contaminantes en células solares fotovoltaicas.

Apellidos Nombre Ubicación Teléfono Fax Email
LOPEZ FERNANDEZ (*) FRANCISCO Fac. Química C/ Martí i Franquès, 1 934021134 934021138 franlopez@ccit.ub.edu


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